单晶炉滤波补偿装置介绍

直拉式单晶炉是由用石墨加热器将多晶硅等材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉的应用广泛：单晶硅、单晶锗、单晶砷化镓等产品都是电子工业及科技行业极其重要的原材料。
一、 单晶硅炉的运行情况
单晶硅炉通常采用晶闸管整流提供直流电源，通过晶闸管的开通角来精准控制石墨加热器加热。它产生谐波电流含量是晶闸管触发角的函数，随着负载的变化面变化。特征谐波次数与晶闸管整流的结构成主要关系，国内的单晶炉电源结构上较为接近，常规三相全控桥居多，具有6脉头整流电源典型特征，以5、7、11、13次谐波为主。电流THD－R约35％。，每台视在功率在195～240KVA，最大标称直流有功功率150KW，工艺最大直流功率约120KW，功率因数0.5～0.66。
单晶硅炉单台谐波具体分布如下：在正常拉晶等径阶段，5次谐波为32.9%约63 A，7次8.5％约17.5A，11次8.8%约18.5A。

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